富力天晟科技(武汉)有限公司

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斯利通陶瓷基板金属化相兼容下的MEMS传感

从《中国制造2025》的颁布开始,我国就开始了从工业大国向工业强国迈进的步伐,2013年、2014年中国工程院会同工业和信息化部及***质检总局相继开展了制造强国战略研究”“工业强基战略研究两个重大发展战略咨询项目研究。一直到现在2018年,我国制造业发生了翻天覆地的变化,自主创新能力不断增强,基础越来越牢固,产品质量越来越好,并且还拥有了可持续发展的能力。今天要给大家讲的就是在制造业中的掌上明珠——传感器。

  核心传感器元器件是工业基石,是工业赖以生存和发展的基础,直接决定重大装备和主机产品的性能、质量。但关键基础件发展滞后,核心传感元器件受制于人,已经成为制约我国工业实现由大变强的主要障碍。

  十一五以来,在高速增长的需求拉动下,我国传感器行业发展也取得了长足的进步。主要原因还是表现在我国较底层制造业的崛起,以及技术升级理念的普及。较新的MEMS技术就是一个很好的说明。

  微机电系统(MEMS)技术是特征尺寸跨越微米和纳米两个邻接微小领域的高新技术,是信息化智能化的关键核心技术。在微能源、测试测量、环境监测、生物统计、安全保卫等领域具有非常广泛的应用。MEMS传感器具有微型化、低成本、功耗低、高可靠、高精度、高度集成及高性能的特点,在前沿科技、汽车行业、医疗与健康监护、可穿戴与便携式系统、智能手机等军民两用领域都取得了迅速的发展。

  MEMS较大的驱动力来自于我国自主研发的新型陶瓷金属化材料的诞生。MEMS传感器较大的特点就是集成化,使其体积大大缩小。众所周知,高度集成必定意味着高度发热,100个元器件就是100个热源,1000个元器件可就是1000个热源,100个热源产生的热量与1000个相比,可不仅仅只是10倍这么简单。高度集成必定就会导致热量集中爆发,加强所有元器件耐温程度明显是不现实的,那么只能采用更优良的散热方式。而陶瓷金属化材料较大的优点就是热导率。

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